EUV-источник — Капли олова (Sn) облучаются CO₂ лазером → плазма → 13.5 нм.
EUV Source
Tin droplets (Sn) are irradiated by a CO₂ laser → plasma → 13.5 nm. 50000 droplets/sec. Conversion efficiency 5-6%. ASML + Cymer (Trumpf laser)
Article body and graph labels may still appear in Russian where English translations have not been added yet.
Loading map...
Коэффициент конверсии 5-6%. ASML + Cymer (Trumpf лазер)..
Предпосылки и причины
События развивались под влиянием совокупности факторов.
Ход событий
Развитие определялось действиями участников и обстановкой.
Последствия и значение
Результаты оказали влияние на дальнейшее развитие событий.
❓Часто задаваемые вопросы
Капли олова (Sn) облучаются CO₂ лазером → плазма → 13.5 нм. 50000 капель/сек. Коэффициент конверсии 5-6%. ASML + Cymer (Trumpf лазер).