Multi-patterning
Несколько экспозиций для одного слоя. LELE (Litho-Etch-Litho-Etch), SADP/SAQP (Self-Aligned). Удваивает/учетверяет плотность.
📖6 мин чтения📊Уровень 8📅19 февраля 2026 г.
🗺️ Mind Map
Загрузка карты...
❓Часто задаваемые вопросы
Multi-patterning — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.