🔬EUV-литография
Extreme Ultraviolet: длина волны 13.5 нм (vs 193 нм DUV). Позволяет техпроцессы 7 нм, 5 нм, 3 нм. ASML монополия (единственный производитель машин EUV, €150+ млн/штука). Зеркала: многослойные (Mo/Si, 40+ слоёв), точность 0.1 нм. Вакуум (EUV поглощается воздухом). Производительность: 170 пластин/час.
📖6 мин чтения📊Уровень 6📅19 февраля 2026 г.
🗺️ Mind Map
Загрузка карты...
❓Часто задаваемые вопросы
EUV-литография — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.