Атомно-слоевое травление (ALE)
Atomic Layer Etching (ALE)
Layer-by-layer removal (1 atomic layer per cycle). For 3D structures (FinFET, GAA). Accuracy <1 nm. Lam Research Syndion
Article body and graph labels may still appear in Russian where English translations have not been added yet.
Loading map...
❓Часто задаваемые вопросы
Атомно-слоевое травление (ALE) — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.