Атомно-слоевое травление (ALE)
Атомно-слоевое травление (ALE)
Послойное удаление (1 атомный слой за цикл). Для 3D структур (FinFET, GAA). Точность <1 нм. Lam Research Syndion.
Загрузка карты...
❓Часто задаваемые вопросы
Атомно-слоевое травление (ALE) — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.