🧪Травление (Etching)

Удаление материала через маску. Мокрое (HF, HNO₃) и сухое (плазма). RIE, ICP для анизотропного травления. Lam Research, TEL — лидеры.

📖6 мин чтения📊Уровень 6🗺️2 подтем📅19 февраля 2026 г.

🗺️ Mind Map

Загрузка карты...

Часто задаваемые вопросы

Травление (Etching) — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.