EUV литография
Extreme Ultraviolet (13.5 нм длина волны) от ASML (2018, NXE:3400). Заменила multi-patterning для 7nm+. EUV сканеры стоят $150+ млн. Критична для 3nm, 2nm процессов.
📖6 мин чтения📊Уровень 7📅19 февраля 2026 г.
🗺️ Mind Map
Загрузка карты...
❓Часто задаваемые вопросы
EUV литография — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.