EUV литография

Extreme Ultraviolet (13.5 нм длина волны) от ASML (2018, NXE:3400). Заменила multi-patterning для 7nm+. EUV сканеры стоят $150+ млн. Критична для 3nm, 2nm процессов.

📖6 мин чтения📊Уровень 7📅19 февраля 2026 г.

🗺️ Mind Map

Загрузка карты...

Часто задаваемые вопросы

EUV литография — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.