📷Фотолитография
Перенос рисунка маски на пластину через фоторезист. DUV (193 нм ArF), EUV (13.5 нм). Multi-patterning для узких норм. ASML, Nikon, Canon.
📖6 мин чтения📊Уровень 6🗺️4 подтем📅19 февраля 2026 г.
🗺️ Mind Map
Загрузка карты...
❓Часто задаваемые вопросы
Фотолитография — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.