EUV-литография
Extreme Ultraviolet (13.5 нм). ASML монополист, машина $200+ млн. Необходима для <7 нм. Мощность источника 500+ Вт. High-NA EUV для 2 нм.
📖6 мин чтения📊Уровень 7🗺️2 подтем📅19 февраля 2026 г.
🗺️ Mind Map
Загрузка карты...
❓Часто задаваемые вопросы
EUV-литография — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.