DUV-литография
Deep UV: 248 нм (KrF), 193 нм (ArF). Иммерсия (вода, n=1.44) → NA=1.35. Multi-patterning (LELE, SADP) для 7 нм и ниже. Дешевле EUV.
📖6 мин чтения📊Уровень 7🗺️2 подтем📅19 февраля 2026 г.
🗺️ Mind Map
Загрузка карты...
❓Часто задаваемые вопросы
DUV-литография — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.