Иммерсионная литография
Иммерсионная литография
193 нм ArF + вода между линзой и пластиной. Увеличивает разрешение в 1.44 раза. ASML TWINSCAN NXT:2050i. Для 28-7 нм.
Загрузка карты...
❓Часто задаваемые вопросы
Иммерсионная литография — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.