Immersion Lithography

193 nm ArF + water between lens and wafer. Increases resolution by 1.44 times. ASML TWINSCAN NXT:2050i. For 28-7 nm

Article body and graph labels may still appear in Russian where English translations have not been added yet.
📖6 min read📊Level 8📅April 16, 2026

Loading map...

Иммерсионная литография

Часто задаваемые вопросы

Иммерсионная литография — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.