Иммерсионная литография
Immersion Lithography
193 nm ArF + water between lens and wafer. Increases resolution by 1.44 times. ASML TWINSCAN NXT:2050i. For 28-7 nm
Article body and graph labels may still appear in Russian where English translations have not been added yet.
Loading map...
❓Часто задаваемые вопросы
Иммерсионная литография — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.
