High-NA EUV
Следующее поколение EUV с числовой апертурой 0.55 (ASML EXE:5000, 2023). Разрешение 8nm (vs 13nm для обычного EUV). Для 2nm и меньше. Стоимость $300+ млн.
📖6 мин чтения📊Уровень 7📅19 февраля 2026 г.
🗺️ Mind Map
Загрузка карты...
❓Часто задаваемые вопросы
High-NA EUV — это тема о правилах, механизмах и практиках в своей области. Она помогает понять, как принимаются решения и к каким последствиям они приводят.