PVD (напыление) — Магнетронное распыление, электронно-лучевое испарение.
PVD (Sputtering)
Magnetron sputtering, electron-beam evaporation. Metallization (Al, Cu, W), barriers (TiN, TaN). Applied Materials Endura
Article body and graph labels may still appear in Russian where English translations have not been added yet.
Loading map...
Металлизация (Al, Cu, W), барьеры (TiN, TaN). Applied Materials Endura..
Предпосылки и причины
События развивались под влиянием совокупности факторов.
Ход событий
Развитие определялось действиями участников и обстановкой.
Последствия и значение
Результаты оказали влияние на дальнейшее развитие событий.
❓Часто задаваемые вопросы
Магнетронное распыление, электронно-лучевое испарение. Металлизация (Al, Cu, W), барьеры (TiN, TaN). Applied Materials Endura.