PVD (напыление)

PVD (напыление) — Магнетронное распыление, электронно-лучевое испарение.

Металлизация (Al, Cu, W), барьеры (TiN, TaN). Applied Materials Endura..

Предпосылки и причины

События развивались под влиянием совокупности факторов.

Ход событий

Развитие определялось действиями участников и обстановкой.

Последствия и значение

Результаты оказали влияние на дальнейшее развитие событий.